PECVD Yöntemi ile Polimerik Hidrojel İnce Filmlerin Üretimi

Abstract

Bu çalışma ile hidrojel özellikteki PHPMA (poli(hidroksipropil metakrilat)) ince filmleri gaz fazı bir yöntem olan plazma destekli kimyasal buhar biriktirme (PECVD) yöntemi ile üretilmiştir. Substrat sıcaklığının, reaktör basıncının ve plazma gücünün, PHPMA ince filmlerinin kaplama hızları üzerine etkileri incelenmiştir. PECVD parametrelerinin, PHPMA ince filmlerinin morfolojileri, kimyasal yapıları ve ıslanabilirlik özellikleri üzerine etkileri açığa çıkarılmıştır. Ayrıca, bu çalışma kapsamında PHPMA ince filmlerinin, kaplama mekanizması ve kinetiği de incelenmiştir. En yüksek kaplama hızı (120,2 nm/dk) 20 C substrat sıcaklığında, 250 mtorr reaktör basıncında ve 20 W plazma gücünde elde edilmiştir. PHPMA kaplamasının aktivasyon enerjisi -22,16 kJ/mol olarak bulunmuştur.