PECVD Yöntemi ile Polimerik Hidrojel İnce Filmlerin Üretimi
Abstract
Bu çalışma ile hidrojel özellikteki PHPMA (poli(hidroksipropil metakrilat)) ince filmleri gaz fazı bir yöntem olan
plazma destekli kimyasal buhar biriktirme (PECVD) yöntemi ile üretilmiştir. Substrat sıcaklığının, reaktör
basıncının ve plazma gücünün, PHPMA ince filmlerinin kaplama hızları üzerine etkileri incelenmiştir. PECVD
parametrelerinin, PHPMA ince filmlerinin morfolojileri, kimyasal yapıları ve ıslanabilirlik özellikleri üzerine
etkileri açığa çıkarılmıştır. Ayrıca, bu çalışma kapsamında PHPMA ince filmlerinin, kaplama mekanizması ve
kinetiği de incelenmiştir. En yüksek kaplama hızı (120,2 nm/dk) 20 C substrat sıcaklığında, 250 mtorr reaktör
basıncında ve 20 W plazma gücünde elde edilmiştir. PHPMA kaplamasının aktivasyon enerjisi -22,16 kJ/mol
olarak bulunmuştur.
Collections

DSpace@BEU by Bitlis Eren University Institutional Repository is licensed under a Creative Commons Attribution-NonCommercial-NoDerivs 4.0 Unported License..