Alev Püskürtme Piroliz Yöntemi Kullanarak IGZO Nanopartiküllerinin Sentezi ve Karakterizasyonu
Abstract
Yüksek elektron mobilitesi, düşük eşik gerilimi ve kaplama sonrası şeffaf özellik gösteren İndiyum Galyum Çinko
Oksit (InGaZnO4, IGZO) malzemesi ekran teknolojilerinde artan bir ivmeyle kullanılmaktadır. Bu çalışmada,
IGZO nanopartikülleri alev püskürtme piroliz yöntemi kullanılarak tek aşamada başarıyla sentezlendi. Üretilen
nanopartiküllerin faz ve element analizleri, sırasıyla X-ışını kırınımı (XRD) ve X-ışını fotoelektron spektroskopisi
(XPS) ölçümleriyle yapıldı. Isıl işlem öncesi XRD analizinde amorf yapı gözlemlenirken, 1200 oC de yapılan
kalsinasyon sonucu rombohedral kristalin InGaZnO4 yapısı tespit edildi. Elementel analiz sonucunda yapı
içerisinde In, Ga, Zn ve O elementlerinin varlığı kanıtlandı. Yüzey morfolojisi ve partikül büyüklüğü taramalı
elektron mikroskobu (SEM) kullanılarak tespit edilirken, nanopartiküllerin parçacık boyutlarının <100 nm den
küçük ve yarı küresel olduğu bulundu. UV uyarma altında nanopartiküllerin fotolüminesans ve optik bozulma
zamanı karakterizasyonları incelenmiş ve 380 nm uyarma altında IGZO nanopartikülleri, 510 nm ve 570 nm
civarında emisyon sergilemiştir. Bu uyarma ve emisyon altında yapılan optik bozulma süresi iki üstelli ve 32,36
µs olarak hesaplanmıştır.
Collections
DSpace@BEU by Bitlis Eren University Institutional Repository is licensed under a Creative Commons Attribution-NonCommercial-NoDerivs 4.0 Unported License..